東北大学未来科学技術共同研究センター

教授

松岡隆志

研究設備

Ⅲ族窒化物結晶成長装置

MOVPE 1号機 — Fig. 1-1. 有機金属気相成長装置 1号機

製造者

高千穂商事

形式

カスタムメイド

諸元

反応炉: 石英チューブ
P_Max.: 113 kPa
加熱方式: RF誘導
T_Max.: 1150°C
MO供給: APC, MFC & 濃度計 EPSON II
LL室: 3室中間RHEED室

MOVPE 2号機 — Fig. 1-2. 有機金属気相成長装置 2号機

製造者

G2 Techno

形式

GHT-2000 カスタム

諸元

反応炉: 水冷式ステンレス鋼
P_Growth: 320 kPa
加熱方式: 抵抗
T_Max.: 1230°C
MO供給: APC, MFC & 濃度計 Piezocon
Op.: Laytec Epi TT

真空装置 (成膜/エッチング)

EB蒸着装置 — Fig. 2-1. 電子ビーム蒸着装置

株式会社タクマ精工社製形式: TVS/10EB

E-Gun: JEOL社製 ???? 5 kV - 300 mA

リボルバー式 6連ターゲット

基板ホルダー: Φ120 / Φ2" x 3

シリコンオイル式加熱機構

RFスパッタ装置 — Fig. 2-2. 反応性スパッタリング装置

ANELVA社製形式: SPF-210 平行平板方式

RF電源: ??????

導入ガス種: Ar, N₂, O₂

ICP-RIE装置 — Fig. 2-3. 反応性イオンエッチング装置

samco株式会社製型式: RIE-101iHM

In系向けシリコンオイル加熱機構付き

ランプ加熱炉 — Fig. 2-4. ランプアニール装置

リソグラフィー装置

アライナ — Fig. 3-1. コンタクトマスクアライナー

株式会社ミカサ製型式: MA-10

レジスト塗布ドラフト — Fig. 3-2. SUSドラフト/レジスト塗布スピナー

SUS製HEPAダウンフロー付きクリーンドラフト

株式会社ミカサ製型式: Opticoat MS-A100

レジストオーブン — Fig. 3-3. レジストベーク炉

ヤマト科学株式会社製型式: DKM300 (恒温乾燥機)

触針式段差計 — Fig. 3-4. 触針式段差計

KLA Tencor社製 Alpha Step IQ

O<sub>2</sub>アッシング装置 — Fig. 3-5. O₂アッシング装置

ヤマト科学株式会社製型式: PR500 (プラズマリアクタ)

純水製造装置 — Fig. 3-6. 純水製造装置

野村マイクロサイエンス株式会社製ミニピュア型式:TW-300RU

組み立て装置 (後工程)

ダイシングソー — Fig. 4-1. ダイシングソー

株式会社DISCO 型式: DAD322

ワイヤボンダ — Fig. 4-2. ボールボンダー

Kulicke&Soffa社製形式: 4522

ウエハ貼付装置 — Fig. 4-3. ウエハ貼り付け装置

製造者: （有）押鐘

物性評価装置

構造評価

4結晶X線回折装置 — Fig. 5-1. 4結晶X線回折装置

Bruker AXS社製 D8 Discover

固定管球, VANTEC-1 Mikrogap マルチ比例計数菅

原子間力顕微鏡 — Fig. 5-2. 原子間力顕微鏡

島津製作所形式: SPM-9600

PFM, KFMモジュール付き

光励起/反射率測定

PL-mapping — Fig. 5-3. 顕微光学測定システム

Laser — Fig. 5-4. 励起光源

Ti:sapphire SP Tsunami

Nd:YVO4 SP Millenia Pro 10J

金門光波 He-Cd (325 nm/422 nm)

S-MCA — Fig. 5-5. 短波マルチチャネル分光器

M-MCA — Fig. 5-6. 近赤外マルチチャネル分光器

分光光度計

FT-IR — Fig. 5-7. フーリエ変換型分光装置

Bruker Optics社製形式: VERTEX 80V

光源： W / SiC Glober

検出器： InGaAs PD, DLaTGS, DTGS

ビームスプリッタ： CaF2, KBｒ, マイラ

分散型分光装置 — Fig. 5-8. 分散型分光装置

島津製作所型式: UV-3600 (本体) / MPG3100 (He冷凍機オプション)

光源：ハロゲンランプ / 重水素ランプ

光-電気測定

マニュアルプローバ― — Fig. 5-9. マニュアルプローバ―

ソーラーシミュレータ — Fig. 5-10. ソーラーシミュレータ

電気測定

Hall効果測定装置 — Fig. 5-11. Hall効果測定装置

スイッチャーと制御部分は、学生による自作